iNano 纳米压痕仪

Superior Physics

iNano 纳米压痕仪

Repeatability, accuracy and precision at a price that puts nanoindentation capability into reach for any lab’s budget.

High Performance

Easy of Use

Great Return on Investment

设备参数

iNano 是一款业界领先的纳米压痕测试系统,该系统测试精度高,数据分析便捷,可适用于分析多种不同材料,可协助科技工作者展开有效的工作。仪器标配的连续动态力学测试功能,可通过单次压痕实验即可在压痕深度方向上实现连续测试杨氏模量,硬度等力学性能。该仪器所占空间小(只有0.125 立方米),软硬件设计先进,测试过程中无需主动减震。

控制器

数据采集率: 100 kHz
时间常数: ≥20µs
动态激发频率: 0.1 Hz-1000Hz

加载装置

位移测量:电容器
最大压痕深度: 50 microns
位移分辨率: 0.02nm
环境干扰因子: <0.1nm
加载模式: 线圈/电磁加载
最大加载载荷: 50mN
载荷分辨率: 3nN
热飘移: 0.05 nm/s

应用范围

半导体器件
微机电系统
薄膜
金属材料
陶瓷材料
生物软材料
高分子材料
复合材料
其它